VAT 高壓真空矩形傳輸閥

VAT HV Transfer Valve

產品特色

• HV
• 專利MONOVAT智能結構技術，將密封件硫化到閥座上，確保密封持久可靠，低顆粒釋放並減少放氣。
• 特殊軟啟動關閉機構最大限度減少機械衝擊，適用於半導體200、300mm晶圓生產中負載鎖定及腔體隔離。
• 可選配液體冷卻散熱機制，可升級UHV超高壓等級。