VAT 高壓真空蝶形控制閥

VAT HV Butterfly Control Valve

產品特色

• HV
• 在製程汙染環境下運行仍有超卓性能，適用要求操作非常快速的 CVD 下游壓力控制。
• 標準配置 FKM Viton® / Greene Tweed Chemarz® 彈性體，帶有 ISO-KF 和 ISO-F 標準法蘭連接器，可集成特定法蘭及特殊功能，如帶絕緣的加熱器。