VAT 超高壓真空閘閥

VAT UHV Gate Valve

產品特色

• UHV
• 10.8閘閥系列配備以VAT專利VATLOCK技術，專為保證不會在板上產生摩擦而設計，提供可靠的密封，不含潤滑劑可避免顆粒釋放污染風險。
• 通過金屬閥蓋密封和波紋管密封饋通以及硫化板密封實現超高真空性能，堅固的不鏽鋼外殼可耐溫至250 °C。
• 關閉位置中的特殊登錄機制，保障了漏電隔離與閥門故障安全疑慮。
• 帶有電磁閥可作為板載解決方案或外部安裝，提供各種執行器電磁閥選項(標準電壓為24 VDC)
• 模組化設計可輕鬆整合至任何UHV超高真空系統標準，常用於真空泵前端的渦輪及低溫泵隔離，在半導體、FPD、表面沉積塗佈、科技研發應用中展現卓越的性能

VATLOCK 原理

VATLOCK Open

VATLOCK Closed