VAT 高壓真空鐘擺閥

VAT HV Pendulum Valve

產品特色

• HV
• 透過異常平滑的低震動開關運動實現出色的低粒子計數、低粒子活化性能，極低的釋氣殘留(RGA)。
• 16.2是半導體應用等嚴苛腐蝕工藝隔離需求的理想選擇，大型16.8鐘擺閥特別適合大型表面沉積塗佈或FPD生產等大流量隔離應用。
• 特殊的分體式設計，無需拆卸管道連接，維護方便快速。
• 纖薄的設計允許直接安裝到工藝腔室中，節省了腔室 - 閥門 -泵連接中通常需要的體積