SRG 壓力傳送計
- DosiTorr以SRG技術研發，第一個能直接整合到系統的新型壓力傳送計，全金屬設計不會因接觸機械組件導致變形，體積小安裝簡易，可完全自主長時間運作，優異的抗腐蝕性能滿足最高純度要求
- 能產生雙倍強磁場(90mT)，提升旋轉頻率(615Hz)在懸浮中明顯更穩定，對振動容度更高，有效改善感應管偏移問題
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PH Instruments發展的新SRG技術，使用獨家改良後的感測器與量測裝置，透過電流產生強力旋轉磁場，驅動轉子不鏽鋼球懸浮在預定的高度中高速自轉，受測量管內射入的氣體動量傳遞引起分子阻力，不需要任何機械或電氣饋通到外部。此技術透過轉子轉速的衰減與其周圍氣體分子摩擦作用，對應測量磁浮旋轉球上的粘性阻力得出真空壓力。