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藍寶石是一種極佳的材料，適用於受氟自由基影響的半導體設備組件。Gavish提供由三種形式的藍寶石製成的設備組件，從蝕刻氣體輸送管到光學窗口的各種應用皆能滿足。這些製造技術，結合優秀的加工和表面處理技術，使其能夠提供最佳的組件設計和形狀。產品特點
- 抵抗來自工藝氣體的氟自由基，延長零件的使用壽命。
- 高抗壓強度的升降針可降低斷裂和振動。
- 高硬度可降低微粒生成，營造更乾淨的工藝環境。
- 高溫性能確保操作溫度超過1000℃（1832℉），適用於半導體處理應用，如快速熱處理。
- 優異的光學透射性，能在紅外至紫外波長範圍內使用，擴展應用領域。
Product:
■ Coated & Metallized Optics
■ Sapphire Tubes & Injectors
■ Custom Fabricated Sapphire
■ Sapphire Rods & Lift Pins
